マスフロー
コントローラ
概要
半導体生産設備の性能向上を目指し、高度な研究開発の成果を生かした高性能精密流体制御機器を商品化、ハイテク産業の発展に貢献しています。
製品カタログ（PDFファイル）
SAM®
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マスフローコントローラ SAM® 1480G/2480Gシリーズ (PDF：
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マスフローコントローラ SAM® SFC1480FX/2480FXシリーズ (PDF：)
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マスフローコントローラ SAM® PS100 Series (PDF：)
Aera®
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マスフローコントローラ Aera® FC-R7700シリーズ (PDF：)
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マスフローコントローラ Aera® FC-Ｒ7800シリーズ (PDF：)
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マスフローコントローラ Aera® FC-DR980 (PDF：)
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マスフローコントローラ Aera® Transformer®; (PDF：)
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マスフローコントローラ Aera® HG200シリーズ・HC100/HM100シリーズ (PDF：)
- 排気圧コントローラ Pressure controller EPV100シリーズ
- マスフローメータ Aera® FM-R37シリーズ
- マスフローメータ Aera® FM-R87シリーズ
- 気化器 Vaporizer ASシリーズ
- リフィールシステム Refill system RSシリーズ
修理
※修理依頼書に必要事項をご記入いただき、現品に添付の上、弊社までお送りください。
| 送り先 |
|---|
| 日立金属ファインテック株式会社 〒510-8102 三重県三重郡朝日町小向210番地 TEL 059-377-3511(代) FAX 059-377-4575 |
※保証期限内のクレーム・調査ご依頼は、営業部までお問い合わせください。
お問い合わせはこちら
| 事業所 | 所在地 |
|---|---|
| 本社 配管機器統括部 |
〒108-8224 東京都港区港南一丁目2番70号（品川シーズンテラス） TEL : 03-6774-3530 FAX : 03-6774-4348 |
| カスタマーサポート（修理など） | 〒510-8102 三重県三重郡朝日町小向210番地 TEL : 059-377-3132 FAX : 059-377-4575 |
| 北日本支店 | 〒980-0021 仙台市青葉区中央一丁目6番35号（東京建物仙台ビル） TEL : 022-267-0216 FAX : 022-266-7891 |
| 中国支店 | 〒732-0827 広島市南区稲荷町2番16号(広島稲荷町第一生命ビル13Ｆ) TEL : 082-535-1711 FAX : 082-535-1713 |
