スパッタリング用
磁気回路
概要
スパッタリング用ターゲット材の上側に磁場を形成する（ターゲット材の裏側に磁石を置く）ことにより、電子をターゲット材近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシミュレーションし、最適な磁気回路を提供します。
貴社に合わせた材料活用方法を提案します
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