装置冷却（生産施設・研究施設）

半導体、精密、機械

• 蒸着装置、スパッタ、拡散炉、リアクタ、酸化炉
• 高周波誘導炉、真空誘導炉、エピタキシャル炉
• 各種プラスチック成形機・金型
• エッチング、ステッパ
• 切削油

自動車

• アルミダイキャスト用金型
• ゴム混錬
• シート成形
• プラスチック成形
• 塗料冷却
• レーザ加工機
• 真空めっき

印刷

• 印刷機用ロール

飲料、食品、医薬品

• レトルト釜
• ＵＨＴ
• パストライザー
• パン、麺等の冷却
• 製粉用乾燥用ラジエータ
• しょうゆ、味噌の製造
• 純水製造装置
• あんの冷却
• 製粉用ロール
• 製剤用生産機器

研究機関、大学

• レーザー発振機、電子顕微鏡、各種炉

空調用顕熱冷却

• クリーンルーム
• 工場空調
• 機械室空調